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加工工艺:高精密设备配合优秀的加工工艺,全流程品质监控。
材料技术优化:采用高纯度原料,对过程进行了杂质引入量管控,对成品全过程监管。
应用端良好的表现:吸附工艺生产过程中的反应生成物,降低inline defect发生频率,提升良率,延长PM周期辅助密封,以确保反应腔室内的真空完整性。