性能特点
陶瓷真空吸盘广泛应用于电子通信行业中的晶圆薄化、切割程序的加工用固定夹具
平面度,平行度高 组织致密均匀,强度高 通透性好,吸附力均匀 易于修整
技术支持
根据客户需求定制产品 协同客户需求改进产品设计、提高性能、降低成本 产品应用追踪与后续服务
陶瓷真空吸盘广泛应用于电子通信行业中的晶圆薄化、切割程序的加工用固定夹具
材料特性 Material Properties | |||||||||||
性能 Item |
单位 Unit |
氧化铝 Alumina |
碳化硅 Silicon Carbide |
||||||||
KAZ025A | KA950A | KA990A | KA995A | KA997A | KA997B | KA999A | KSC101 | ||||
性能指标 Performance Index |
物理特性 Physical Property |
含量 Content |
% | - | 95.0% | 99.0% | 99.5% | 99.7% | 99.7% | 99.9% | - |
颜色 Colour |
- | Milky White | White | White | Milky White | Milky White | Milky White | White | Black | ||
密度 Density |
g/cm3 | 4.4 | 3.7 | 3.8 | 3.9 | 3.92 | 3.94 | 3.95 | 3.15 | ||
吸水率 Water Absorption |
% | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
孔隙率 Porosity |
% | - | - | - | - | - | - | - | - | ||
机械性能 Mechanical Behavior |
维氏硬度 Vickers Hardness |
GPa | 15 | 13.7 | 15.2 | 16.0 | 17.2 | 17.2 | 17.5 | 23 | |
抗弯强度 Bending Strength |
Mpa | 650 | 350 | 310 | 360 | 380 | 380 | 400 | 500 | ||
抗压强度 Compressive Strength |
Mpa | - | - | 2160 | 2350 | 2380 | 2400 | 2560 | 3900 | ||
杨氏模量 Young's Modulus |
GPa | 320 | 320 | 360 | 370 | 380 | 380 | 380 | 420 | ||
泊松比 Poisson's Ratio |
/ | 0.25 | 0.23 | 0.23 | 0.23 | 0.23 | 0.23 | 0.23 | 0.17 | ||
断裂韧性 Fracture Toughness |
Mpa.m1/2 | 5 | 3-4 | 3-4 | 4 | 4.8 | 5 | 5.4 | 3.2 | ||
热学性能 Thermal Property |
热膨胀系数 Coefficient of Thermal Expansion |
10-6/°C | 9 | 7.2 | 7.2 | 7.2 | 7.2 | 7.2 | 7.2 | 4.3 | |
热导率 Thermal Conductivity |
W/(m.K) | 19 | 24 | 29 | 32 | 32 | 32 | 34 | 160 | ||
比热容 Specific Heat Capacity |
J/(g.K) | - | 0.78 | 0.79 | 0.78 | 0.79 | 0.79 | 0.78 | 0.67 | ||
最高使用温度 Maximum Operating Temperature |
°C | 1600 | 1500 | 1600 | 1600 | 1600 | 1600 | 1600 | 1600 | ||
电学性能 Electrical Property |
介电强度 Dielectric Strength |
kv/mm | - | 15 | 15 | 15 | 15 | 15 | 15 | - | |
介电常数(1MHz) Dielectric Constant (1MHz) |
- | - | 9.4 | 9.9 | 9.9 | 9.9 | 9.9 | 9.9 | - | ||
介电损耗(1MHz) Dielectric Losses (1MHz) |
(X10-4) | - | 4 | 2 | 1 | 1 | 1 | 1 | - | ||
体积电阻率20℃ Volume Resistivity 20℃ |
Ω.cm | >1012 | >1014 | >1014 | >1014 | >1014 | >1014 | >1014 | 108 | ||
体积电阻率300℃ Volume Resistivity 300℃ |
Ω.cm | - | 1010 | 1010 | 1013 | 1013 | 1013 | 1013 | - |
提示:本数据为实验室测试典型值,具体生产批次的实际特性可能会有所变化。
请将您的要求告知我公司, 我公司将从广泛的范围中为您推荐合适的材料和制造方法以满足您的需求