我们提供定制化的化学气相沉积(CVD), 物理气相沉积 (PVD) , 电化学电镀 / 电化学沉积 (ECP、 ECD) , 原子层沉积 (ALD) 所需组件,如:腔室盖、腔室衬垫、气体混合歧管、底座加热器、 隔离器和绝缘环、 升降垫和销、 等离子体管,真空破碎过滤器等。
为刻蚀的高纯度需求和极端环境提供定制部件,如静电吸盘(ESC)上盖、 聚焦环、 喷嘴、 气体分配板、 喷嘴、 保护罩、 淋浴喷头、 观察窗和盖子以及其他部件。
我们为您提供精密空气轴承部件和衡量、 超扁平真空吸盘、 热稳定销、 螺钉和框架、 绝缘环、 干涉仪参考镜、秤座等精密部件。
请将您的要求告知我公司,我公司将从广泛的范围中为您推荐合适的材料和制造方法以满足您的需求