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我们深知，在电子通信、显示&照明、精密光学等一系列现代高端产业中，材料表面微量残留的各类离子、颗粒物等足以导致大量的产品缺陷甚至对整个生产制造造成严重后果，可靠的精密清洗与表面特殊处理技术成为上述产业中不可或缺的重要支持。我们的相关团队具备20 多年精密清洗、表面处理技术与经验，始终专注于满足客户需求与增强综合竞争力，以美国相关产业标准为基础，通过紧密支持与合作，致力于为项目的每一个阶段提供可靠、高效与优异的精密清洗与表面处理解决方案，满足并超越您的期待。
卡贝尼拥有包括超声波清洗机、纯水站系统、等离子熔射设备在内的全套清洗与表面处理设备，配备化学清洗间、检测室QC、喷砂间和熔射间等专业设施，以及无尘净化系统和无尘清洗间确保环境洁净度
超声波清洗
纯水站系统
等离子熔射
化学清洗间
检测室QC
喷砂间
熔射
熔射间
无尘净化系统
无尘清洗间
压缩机系统
28nm制程洗净与表面处理技术
ESC清洗前
ESC清洗后
| 0.1 UM PARTICLE/CM² （SPEC- ≤ 1/CM²) |
1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 |
| 0.02 | 0.03 | 0.02 | 0.01 | 0.03 | 0.02 |
| UNIT | ELEMENTS | (AL) | (CA) | (CR) | (CO) | (CU) | (FE) | (K) | (NA) | (TI) |
| 1E10ATOMS /CM² |
SPEC | 300 | 200 | 100 | 100 | 100 | 100 | 200 | 200 | 100 |
| 样品 | 56 | 46 | 15 | 20 | 5 | 7 | 46 | 68 | 16 |
卡贝尼技术实力体现在其清洗方式上，结合化学药洗和物理清洗，能够有效去除各类污染物，包括有机物、氧化物、颗粒物等，适用于金属、陶瓷、聚合物等材料，达到严格的28纳米制程清洗标准，同时提供零部件修补、螺纹护套安装、拆解、组装、测漏、电镀、涂层、电抛光等其他服务。
清洗方式化学药洗：脱脂、有机溶剂浸泡、酸/ 碱侵蚀、去离子水浸泡、选择性蚀刻
物理清洗：高压清洗、CO2 清洗、喷砂、超音波清洗、研磨、熔射
可去除污染物有机物、氧化物、亚微米级颗粒物、碳水化合物、油渍、油脂、氢氧化物、薄膜、无机物、涂层、金属
可清洗材料金属/ 合金、陶瓷、石英、玻璃、宝石、聚合物、硅、喷涂部件
技术指标经过精密洗净处理的样品，其PARTICLE水平和表面金属离子残留量均达到当前28NM制程和14NM制程（部分部件）清洗标准
其他服务零部件修补、螺纹护套安装、拆解、组装、测漏、电镀、涂层、电抛光等
上海地区具备表面处理资质和相应生产能力的领先企业。
电子通信、平板显示、新能源、精密光学、医疗设备、科学研究等
物理/ 化学气象沉积、蚀刻、离子注入、光刻、分析测试、真空设备、微流体控制、反应腔等各类精密设备
针对上述设备中的各类精密零部件进行测试与分析、表面净化、精密清洗、部件翻新、表面处理等
欢迎联系我们获得详细的应用解决方案及技术参数
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